繼全國首條8英寸MEMS研發中試線落地上海嘉定工業區后，近日，由國家智能傳感器創新中心建設的國內首條12英寸先進傳感器研發中試線，也在嘉定成功通線。

　　該中試線以國產設備為主，具備晶圓鍵合、晶圓減薄、干濕法刻蝕、物理和化學氣相沉積、原子層沉積、化學機械研磨、濕法清洗、自動化量測等先進傳感器和晶圓級3D集成技術的核心工藝能力，可提供產品研發、小批量生產、技術培訓、設備驗證等服務。